半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML證實(shí)了中國媒體的報(bào)道,即該公司已獲得荷蘭政府的許可,在今年年底前向中國客戶出口其包括DUV曝光機(jī)等部分先進(jìn)工具。
ASML是歐洲估值最高的技術(shù)公司,在曝光機(jī)市場占據(jù)主導(dǎo)地位,該設(shè)備使用微小的光束幫助創(chuàng)建芯片電路。根據(jù)6月份與美國完成的一項(xiàng)協(xié)議,該公司必須獲得許可,才能出口一些最尖端的技術(shù)。而荷蘭對(duì)中國輸出芯片制造設(shè)備的禁令,將從9月1日生效。
不過,ASML證實(shí),公司年底前將仍會(huì)持續(xù)出貨用于半導(dǎo)體成熟制程生產(chǎn)的深紫外光(DUV)曝光機(jī)設(shè)備給中國客戶。該公司的一位女發(fā)言人說,這些產(chǎn)品雖然從9月1日起就受到限制,但在2023年的剩余時(shí)間里,ASML將能繼續(xù)出貨其NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品。換言之,中國的芯片廠還有4個(gè)月時(shí)間可以從ASML進(jìn)口設(shè)備。
使用深紫外光譜光波的曝光機(jī)(或稱"DUV"設(shè)備)是ASML的第二級(jí)產(chǎn)品線。其最先進(jìn)的“極紫外”(EUV)設(shè)備則從未出售給中國客戶。
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